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集成電路應用

1、12寸晶片, 3nm-28nm;
2、VOC, SO2, H2S, Cl-, Ammonia, MDS, O3, 等氣體過濾;
3、建廠時無塵室的初期氣體清理;
4、外氣MOU氣體分子過濾;
5、FFU 化學濾網過濾;
6、機臺上的設備氣體過濾;
7、面板廠曝光機的過濾機, 保護鏡頭。



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